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半導體制造中使用液態(tài)、氣態(tài)、超純至高腐蝕性流體。這包括超純水、液態(tài)冷卻介質，還包括酸或堿，例如氫氟酸、鹽酸或硫酸以及氫氧化鈉溶液或溶劑。各種液體特性（例如溫度、流量、電導、pH 值）的精準測量和調(diào)控對于半導體制造至關重要。
Bürkert 作為流體領域的zhuan業(yè)品牌，通過分析流體過程，為您的半導體生產(chǎn)應用開發(fā)定制解決方案。
適用于半導體行業(yè)精確匹配的B流體處理系統(tǒng)
根據(jù)客戶的需求定制系統(tǒng)，Bürkert 涵蓋了整個半導體制造工藝過程中從單個產(chǎn)品組件到實現(xiàn) 精準調(diào)控的緊湊型系統(tǒng)解決方案，再到實現(xiàn)工藝過程的自動化、數(shù)字化。從空間要求、安裝條件以及機械、電氣和通信接口，無論是單個產(chǎn)品還是整體系統(tǒng)都可以wan美適配您的半導體工藝流程。
Bürkert
用于半導體行業(yè)的流體精確控制產(chǎn)品
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